集成電路潔淨室
潔淨室的設計要求介紹:
隨着生產對潔淨室的需求越來越多,對潔淨室裝修工程的潔淨度要求也越來越高,如何把握好每個施工工序,是能否達到設計要求潔淨度的重要因素。能達到多高潔淨室潔淨度級別也成了衡量一個施工企業能達到多高的施工質量高度的一個因素。
一、潔淨室的定義潔淨室是指將一定空間範圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排出,並將室內的溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度及氣流分布、噪聲、振動、照明及靜電控制在某一需求範圍內,而所給予特別設計的房間。也就是不論外在空氣條件如何變化,其室內均能具有維持原先所設定要求的潔淨度、溫溼度及壓力等性能的特性。
二、潔淨室的構成潔淨室的構成是由下列各項系統所組成,在所組成的系統分子中任何一項都是缺一不可的,否則將無法構成一個完整且品質良好的潔淨室:
a、天花系統:包括吊杆、主龍骨、次龍骨、天花板。
b、空調系統:包括空氣處理設備、空氣輸送設備、空氣分配設備、冷熱控制源、自動調節控制裝置等。
c、隔牆:包括窗戶、門。
d、地板或地面:包括環氧樹脂地面、架空地板等。
e、照明器具。